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濺鍍靶材接合的替代方法

傳統接合的濺鍍靶材在其生命週期中會經歷廣泛的溫度範圍。它的接合溫度超過 200°C - 錫/銀/銅的接合溫度通常接近 300°C。由於這是接合的溫度,所有溫度變化都會使材料膨脹或收縮。接下來,它會冷卻至室溫。接下來,它會冷卻至室溫,然後在 100°C 左右的溫度下操作,並在其使用壽命中重複循環。

在傳統濺鍍靶材接合的另一種方法中,NanoFoil® 可用於消除工作溫度下濺鍍靶材的接合應力

"首先測試鋁片和鉬片的平面度,以衡量接合後的預期偏差。為了準備接合,鋁片和鉬片塗上焊料,這是接合反應式多層鋁箔的標準程序。使用機械攪拌的方式在鋁片上鍍上 96.5Sn/3.0Ag/0.5Cu 的焊錫。鉬經過介質噴砂使表面粗化,然後用超音波烙鐵鍍上 96.5Sn/3.0Ag/0.5Cu 焊料,再鍍上活性焊料的附著層。然後將兩片金屬上的這些焊料層加工平整,以提供共面的表面進行接合"。

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