Gần đây tôi đã có một cuộc thảo luận với Frank Zimone (Phó chủ tịch Phát triển Kinh doanh tại Angstrom Sciences ) về việc sử dụng mục tiêu phun. Ông nhấn mạnh điểm này: mặc dù "vật liệu theo trọng lượng phun ra khỏi mục tiêu" là cách hầu hết mọi người định nghĩa về "sử dụng mục tiêu", khi đánh giá hiệu quả của một quy trình, chỉ có vật liệu tạo thành sản phẩm mới được tính đến. Frank nói:
“Điều đang xảy ra hiện nay là chúng ta thấy rằng nhiều công ty, sau khi vội vã thiết lập quy trình để tạo ra sản phẩm tốt và “ra mắt thị trường”, hiện đang nỗ lực điều chỉnh quy trình để tiết kiệm tiền bằng cách giảm chi phí sản xuất. Điều này có thể đạt được bằng cách đưa nhiều vật liệu mục tiêu hơn vào các ô màng mỏng và lãng phí ít hơn bằng cách đưa ít vật liệu hơn vào nơi khác trong công cụ sản xuất.
“Chúng tôi vừa hoàn thành một nghiên cứu với một công ty quang điện lớn, trong đó đánh giá các từ tính tăng cường từ nhiều đối thủ cạnh tranh. Trong một lần so sánh liên tiếp với các điều kiện quy trình giống hệt nhau (mật độ công suất, tốc độ đường dây, v.v.), cả hai mục tiêu đều được sử dụng ~85% khi đo bằng trọng lượng giảm .” (Hãy nhớ rằng – đây là ứng dụng cụ thể.) “Sự khác biệt chính giữa các lớp lắng đọng có vẻ giống nhau là một bộ từ tính tạo ra nhiều hơn 20% vật liệu trên chất nền.”
Lúc này tôi đã hỏi một câu hỏi hiển nhiên: "Làm sao điều đó có thể xảy ra?"
Frank trả lời:
“Một bộ từ tính có thể sắp xếp 2 đường đua xói mòn gần nhau hơn và vuông góc hơn với bề mặt mục tiêu. Điều này chuyển thành tốc độ lắng đọng động cao hơn và ít vật liệu bị lãng phí hơn trên các tấm chắn buồng.”
Đây là một khái niệm đơn giản nếu bạn hiểu về vật lý của hiện tượng phun trào, và Frank đồng ý rằng hầu hết khách hàng đều biết điều này từ góc độ học thuật nhưng không có thời gian/nguồn lực để kiểm tra đúng cách. Ông cho biết, "Nhiều khách hàng lâu năm hơn hiện đang tìm hiểu về những vấn đề cụ thể này".
Để tìm hiểu thêm về từ tính chuyển động, hãy liên hệ với Frank Zimone tại [email protected] hoặc ghé qua và gặp anh ấy tại Liên hệ mặt trời tuần này!
Tôi cũng sẽ ở đó. Hãy tìm tôi ở gian hàng số 5325 của Indium Corporation.
~Jim
