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Chips de Teste Térmico (TTCs) para Embalagem Avançada de Semicondutores

A gestão térmica estáa tornar-se um desafio cada vez mais crítico para os dispositivos semicondutores, à medida que a densidade funcional e a densidade de potência aumentam - especialmente com o acondicionamento avançado. Os chips de teste térmico (TTC) são um fator crítico para o desenvolvimento de soluções de gestão térmica para dispositivos semicondutores de alta potência.

Como são fabricados os TTC?

Os TTC fabricados a partir de bolachas de silício (figura 1) fabricadas na América podem simular com exatidão a dimensão e a distribuição não uniforme de energia (como os pontos quentes) de uma pastilha semicondutora real, com sensores incorporados na pastilha para medição da temperatura da pastilha em tempo real. O TTC, que é um ASIC analógico, é constituído por células unitárias (Figuras 2 e 3) e a entrada de energia e a temperatura de cadacélula unitária são diretamente endereçáveis, permitindo assim uma distribuição de energia configurável e a medição da temperatura in situ no chip - até à escala de uma célula unitária.

as pastilhas de ensaio térmico são compostas por células unitárias
Figura 2. Célula unitária pequena (1mm x 1mm), com 1 aquecedor e 1 sensor de temperatura em cada célula unitária. (Fonte: TEA)

As resistências de película metálica são utilizadas para a fonte de calor na célula unitária para uma melhor uniformidade e correspondência ao longo da bolacha, e os seus coeficientes de temperatura relativamente estáveis resultam numa dissipação de potência constante ao longo da medição térmica. As fontes de calor também estão dispostas em conformidade com a norma JEDEC JESD51-4. Os díodos sensores de temperatura (TSD) estrategicamente localizados no TTC permitem uma medição precisa da temperatura da matriz em vários locais simultaneamente.

pastilhas de teste térmico
Figura 3. A célula unitária grande (2,54 mm x 2,54 mm), com dois aquecedores e quatro sensores de temperatura em cada célula unitária. (Fonte: TEA)

Uma vez que as células unitárias podem ser dispostas em qualquer combinação, o TTC pode ter qualquer tamanho para corresponder ao tamanho do chip real (até 50 mm x 50 mm ou mais, se necessário). O TTC, com a sua precisão e exatidão dos aquecedores e sensores integrados em cada célula unitária, pode simular com exatidão o comportamento térmico de um chip semicondutor real, oferecendo assim uma excelente ferramenta para o desenvolvimento simultâneo de soluções de gestão térmica enquanto um novo chip está a ser desenvolvido (o que muitas vezes demora vários anos).

Utilização de chips de teste térmico para construir veículos de teste

Figura 4: Múltiplos chips de teste térmico numa embalagem (exemplo). (Fonte: TEA)
Figura 4: Múltiplos TTC num pacote (exemplo). (Fonte: TEA)

Com os TTC (concebidos para ligação de fios ou fixação de flip-chips), os veículos de teste térmico (TTV) podem ser desenvolvidos em vários formatos de embalagem, como BGA, LGA, COB, etc., bem como em vários chips por embalagem (Figura 4) para simular o sistema em pacote (SiP), que é frequentemente utilizado na integração heterogénea.

Com a capacidade de distribuição de potência configurável e medição simultânea da temperatura em todo o chip, os TTC e os TTV podem ser muito úteis para a caraterização térmica (estado estacionário e transiente) e avaliação, incluindo mapeamento de potência e/ou temperatura, para pacotes e dispositivos de semicondutores que podem incorporar várias soluções de gestão térmica - materiais de interface térmica (TIM), dissipador de calor, câmara de vapor, tubo de calor, placa fria, arrefecimento líquido, etc. Podem também ser muito úteis para validar a simulação e a modelação térmicas. Além disso, o ciclo de energia pode ser efectuado numa configuração programada para avaliar o desempenho de fiabilidade de várias soluções de gestão térmica.

Fichas de teste térmico para interpositores de vidro: Um estudo de caso

De facto, os TTC podem também satisfazer as necessidades de embalagens avançadas. Num projeto de investigação recente, que foi apresentado na 73.ª Conferência de Componentes Electrónicos e Tecnologia (ECTC) do IEEE de 2023 em Orlando, FL, num artigo intitulado"Bottom Side Cooling for Glass Interposer with Chip Embedding using Double-sided Release Process for 6G Wireless Applications", investigadores da Georgia Tech e da Penn State University utilizaram TTCs da Thermal Engineering Associates (TEA) para o desenvolvimento de um processo de interposição de vidro incorporado em matrizes (Figura 5). No interpositor de vidro, são preparadas cavidades de passagem no substrato de vidro e o TTC é incorporado na cavidade de passagem e ligado através de camadas de redistribuição (RDL) na parte superior. Um dissipador de calor de cobre é ligado à parte traseira exposta do TTC utilizando uma interface TIM para gestão térmica. A densidade de potência do TTC incorporado é testada para verificar a capacidade de arrefecimento com vários coeficientes de transferência de calor que variam entre 28,8~261,3 W/m2K.

Figura 5. Os TTC da TEA são utilizados em embalagens avançadas. (De J.W. Kim et al, ECTC 2023, pp. 1609-1613)
Figura 5. Os TTC da TEA são utilizados em embalagens avançadas. (De J.W. Kim et al, ECTC 2023, pp. 1609-1613)

De um modo geral, os TTC e os TTV poderão imitar de perto as pastilhas de semicondutores e as embalagens avançadas à medida que estas evoluem - com uma densidade de potência crescente e configurações de embalagem mais complexas. Os TTC sob a forma de pastilhas empilhadas e chiplets em embalagens 2,5D/3D estão atualmente em desenvolvimento.