Ich wollte nur kurz meine Vorliebe für wasserlösliche Flussmittel erwähnen, die mir das Leben leichter machen! Wenn Sie jemals eine Schleuderbeschichtungsmaschine (Spinner) verwendet haben, um ein Polymer oder Flussmittel auf einen Wafer aufzutragen, wissen Sie, dass dies eine ziemliche Sauerei verursacht. Die ganze Theorie hinter der Schleuderbeschichtung besteht darin, überschüssige Flüssigkeit vom Wafer wegzuschleudern (und folglich auf das Innere der Maschine). Die Möglichkeit, die Maschine einfach mit einer Wasserflasche und einem feuchten Papiertuch zu reinigen, ist für mich viel wünschenswerter als die Verwendung eines Lösungsmittels wie Alkohol. Wer will schon nach IPA riechen?
Reinigung Spin Coating Flussmittel
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