Kürzlich hatte ich eine Diskussion mit Frank Zimone (VP of Business Development bei Angstrom Sciences) über die Ausnutzung des Sputtertargets. Er betonte, dass die meisten Leute die "Targetausnutzung" zwar als "Material nach Gewicht, das vom Target gesputtert wird" definieren, dass aber bei der Beurteilung der Effizienz eines Prozesses nur das Material zählt, das es bis zum Produkt schafft. sagte Frank:
"Wir stellen fest, dass viele Unternehmen nach der überstürzten Einführung eines Verfahrens zur Herstellung eines guten Produkts und zur "Markteinführung" nun daran arbeiten, das Verfahren zu optimieren, um durch eine Senkung der Produktionskosten Geld zu sparen. Dies kann dadurch erreicht werden, dass mehr von dem Zielmaterial auf die Dünnschichtzellen aufgebracht wird und weniger verschwendet wird, indem an anderer Stelle im Produktionswerkzeug weniger von dem Material aufgebracht wird.
"Wir haben vor kurzem eine Studie mit einem großen Photovoltaikunternehmen abgeschlossen, in der verbesserte Magnete von mehreren Wettbewerbern bewertet wurden. In einem Back-to-Back-Vergleich mit identischen Prozessbedingungen (Leistungsdichte, Liniengeschwindigkeit usw.) wurden beide Targets zu ~85 % ausgenutzt , gemessen am Gewichtsverlust." (Der Hauptunterschied zwischen den scheinbar ähnlichen Abscheidungen bestand darin, dass ein Satz von Magneten 20 % mehr Material auf dem Substrat lieferte.
An dieser Stelle stellte ich die offensichtliche Frage: "Wie war das möglich?"
antwortete Frank:
"Ein Satz Magnete konnte die beiden Erosionsbahnen besser ausrichten und rechtwinkliger zur Zieloberfläche ausrichten. Dies führte zu einer höheren dynamischen Abscheiderate und weniger Materialverlust an den Kammerschilden."
Es ist ein einfaches Konzept, wenn man die Physik des Sputterns versteht, und Frank stimmte zu, dass die meisten Kunden dies von einem akademischen Standpunkt aus wissen, aber nicht die Zeit/Ressourcen haben, um richtig zu testen. Er sagte : "Mehr etablierte Kunden befassen sich jetzt mit diesen speziellen Fragen".
Wenn Sie mehr über bewegliche Magnete erfahren möchten, kontaktieren Sie Frank Zimone unter [email protected] oder besuchen Sie ihn unter InterSolar diese Woche!
Auch ich werde dort sein. Sie finden mich auf dem Stand der Indium Corporation mit der Nummer 5325.
~Jim
