On m'a demandé d'expliquer pourquoi on pourrait préférer utiliser des cibles de pulvérisation rotatives plutôt que des cibles de pulvérisation planes.
Certes, les cibles de plus grande taille et les nouveaux équipements entraînent certains coûts (en supposant que vous utilisiez actuellement un système planaire), mais dans un processus à haut volume (tel que le dépôt de couches minces rouleau à rouleau), les avantages se traduisent par un coût total de possession réduit :
- Par rapport aux cibles planes, les cibles rotatives présentent généralement une surface plus importante par unité de longueur.
- Les cibles rotatives présentent une surface beaucoup plus étendue, ce qui permet de répartir la puissance du magnétron sur une zone plus vaste pendant un laps de temps donné. Cela contribue à maintenir la cible à une température plus basse, à limiter la formation de nodules et à réduire l'apparition d'arcs électriques.
- Étant donné que la pulvérisation rotative réduit la formation de nodules, les cibles peuvent fonctionner en continu pendant des durées plus longues.
- Une cible rotative dispose généralement d'une plus grande quantité de matière à pulvériser, ce qui permet d'allonger la durée de fonctionnement.
- Le taux d'utilisation des cibles rotatives est généralement d'environ 80 %, contre environ 30 % pour les cibles planes, ce qui permet de réduire les rebuts et d'augmenter les temps de fonctionnement.
- Les cibles rotatives sont particulièrement adaptées aux procédés de pulvérisation cathodique en continu. Le traitement en continu permet d'augmenter le rendement, car il y a moins de temps perdu à préparer la chambre de pulvérisation.
- Les cibles rotatives sont plus rentables pour les processus à haut volume. Elles constituent une bonne solution pour les processus de longue durée, avec moins de risques de défauts et de temps d'arrêt.
- Les cibles planes restent la solution la plus adaptée aux travaux de prototypage ou aux expériences élémentaires, en particulier lorsqu'il n'est pas nécessaire d'utiliser de grandes quantités de matériau en une seule fois.
Si vous souhaitez en savoir plus sur les cibles de pulvérisation, n'hésitez pas à contacter notre équipe à l'adresse suivante : [email protected]
~Jim
