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Spin Coating pour les débutants

Étape 1 : Le flux liquide est déposé au centre de la tranche de silicium.

Étape 1 : Le flux liquide est déposé au centre de la tranche de silicium.

Étape 2 : Une rotation initiale à faible vitesse tire le flux du centre vers la surface de la plaquette.

Étape 2 : Une rotation initiale à faible vitesse tire le flux du centre vers la surface de la plaquette.

Étape 3 : Une rotation à haut régime éjecte l'excès de flux, laissant une fine couche sur la plaquette.

Étape 3 : Une rotation à haut régime éjecte l'excès de flux, laissant une fine couche sur la plaquette.

Spin coating is an amazingly simple way to apply flux to a (generally round) substrate. Most commonly used in wafer processing, spin coating can be used as a more uniform alternative to spraying liquid fluxes onto wafers for electroplated bump formation. Here is an image tutorial to introduce the process: