Indiumtrichlorid, Indium(III)-chlorid oder InCl3 hat viele Namen und Verwendungszwecke, aber die Hauptverwendung dieses Materials ist die Herstellung eines Indiumvorläufers für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD). TMI (Tri-Methyl-Indium) ist eine Vorstufe für die Indiumabscheidung, ähnlich wie TMG für die Galliumabscheidung. Beide MOCVD-Vorstufen werden hier behandelt: https://www.indium.com/compounds/led-mocvd-precursors/#application
So sieht der Fluss von Indium in der LED-Herstellung aus:
In + Cl-> Indium(III)-chlorid-> TMI-> LED
Die chemische Abscheidung aus der Gasphase ist jedoch nur eine Möglichkeit, Indiumschichten auf einer Oberfläche abzuscheiden. Physikalische Abscheidung aus der Gasphase, wie z. B. Sputtern und Verdampfen, sind ebenfalls üblich. Hier ist meine Meinung zum Vergleich von chemischen und physikalischen Abscheidungsverfahren: http://documents.indium.com/qdynamo/download.php?docid=1957
