필 자로우:짐, 인듐-주석 산화물(ITO)의 놀라운 세계에 대해 이야기해 보겠습니다. 이름에서 알 수 있듯이 인듐, 주석, 산소가 산화물 형태로 결합된 것인데, 어떻게 사용되나요? 어떤 응용 분야에는 어떤 것들이 있을까요?
짐 히서트:인듐-주석 산화물은 디스플레이가 있는 거의 모든 전자 기기의 투명 전도성 층으로 사용됩니다. 평면 패널 TV에 사용되며 터치스크린 장치에도 사용됩니다. 터치스크린, 평면 패널 장치에는 최대 4겹의 ITO가 사용될 수 있습니다.
필 자로우: 레이어에 대해 이야기할 때 4개의 레이어, 그것도 아주 아주 얇은 레이어를 적용하는 주된 방법은 스퍼터링이겠죠?
짐 히저트입니다: 네, 스퍼터링 공정이죠, 보여드리기 위해 타겟을 가져왔습니다!
필 자로우:아주 좋아요.
짐 히서트: 이것은 인듐-주석 산화물 스퍼터링 타겟입니다. (이 시점에서 저는 제가 가지고 있는 타겟을 공개했습니다. 일반적인 생각과는 달리 저는 매일 스퍼터링 타겟을 가지고 다니지 않습니다. 하지만 인듐은 항상 가지고 다닙니다.) 아주 작은 모델이지만, 이것은 원래 인듐-주석 산화물 분말. 여러분께 보여드리기 위해 일부를 가져왔습니다.
필 자로우입니다: 어떤 모습인지 살펴봅시다.
짐 히서트: 여기 산화인듐-주석 분말이 있습니다... 그리고 이 [표적]은 산화인듐 분말과 산화주석 분말로도 만들 수 있습니다. 따라서 표적을 만드는 [재료]에는 여러 가지 방법이 있으며 표적을 만드는 제조 방법도 다양합니다.
필 자로우:스퍼터링에서는 일반적으로 타겟이 희생되나요?
짐 히저트: 네, 아주 소량만 사용됩니다. 터치 스크린 디스플레이의 경우 유리에 스퍼터링되며 두께는 나노미터입니다.
필 자로우입니다: 인듐-주석 산화물, 인듐 코퍼레이션은 회사 이름에 포함되어 있습니다. 인디엄 코퍼레이션은 어떻게 이 시장의 리더가 되었나요?
짐 히서트:저희는 고객과 함께 ITO를 개발하고 이 기술의 주요 동력 중 하나인 표적의 밀도를 높이기 위해 노력해 왔습니다. 그 과정에서 가장 효과적인 다양한 파우더 분포와 형태를 발견했습니다. 우리는 시장과 함께 발전해왔고 시장은 우리 제품과 함께 발전해왔습니다.
필 자로우: 짐, 산화인듐주석에 대한 자세한 정보는 어디서 얻을 수 있나요?
짐 히서트:[ITO의] 애플리케이션의 경우, 저는 론 라스키 박사와 함께 만든 론 라스키 박사와 함께 만든 비디오. 그 외에도요, 저는 블로그에서 인듐-주석 산화물 및 기타 인듐 관련 주제에 대해 이야기하고 있습니다. 또한 특정 ITO 블로그 에서 타겟 기술에 대해 이야기합니다. 그리고 언제든지 다음 주소로 문의하실 수 있습니다. [email protected] 로 문의해 주세요.
필 자로우: 잘됐네요! 짐, 당신은 ITO의 구루입니다. 정말 감사합니다.
Jim Hisert:감사합니다.
