ITO는 평판 디스플레이 (모니터, TV 등)의 마법을 가능케 하는 소재 중 하나입니다. 얇은 층으로 스퍼터링하면 투명한 전도성 필름 역할을 합니다. 그러나 스퍼터링 공정은 ITO를 사용하는 데 있어 매우 비효율적입니다. 그리고 평판 디스플레이 판매가 폭발적으로 증가함에 따라 많은 양의 ITO가 '폐기물'로 남게 됩니다.
ITO의 경제성을 이해하는 것이 중요합니다. ITO의 주요 전구체는 인듐 (금속)입니다. 인듐은 준귀금속으로 금과 은처럼 공개 시장에서 거래됩니다. 다른 귀금속과 마찬가지로 가격 변동에 영향을 받습니다. 따라서 미사용 ITO를 최대한 많이 회수해야 한다는 경제적 원동력이 있습니다.
앞서 언급했듯이 평판 디스플레이는 스퍼터링 ITO 코팅을 사용합니다. 인듐 금속은 먼저 다음과 같이 변환되어야 합니다. 인듐 산화물을 적당량의 산화주석과 혼합한 다음. 결과는 옅은 녹색 분말입니다.
ITO를 사용하려면 먼저 스퍼터링 타겟으로 압축해야 합니다. 평면 스퍼터링 타겟은 ITO 스퍼터링에 주로 사용되는 스퍼터링 타겟의 형태입니다. ITO 스퍼터링 타겟의 기하학적 구조는 직사각형 또는 원반인 경우가 많습니다. 분말을 압축하면 더 어두운 색을 띠게 됩니다.
스퍼터링 공정에는 스퍼터링 타겟의 고르지 않은 침식이 내재되어 있습니다. 타겟 물질은 "레이스 트랙" 패턴으로 침식됩니다. 사용된 니켈-바나듐 스퍼터링 타겟의 이 이미지는 고전적인 "레이스 트랙" 침식 패턴(계곡)을 보여줍니다.
남은 물질은 스퍼터링 공정에서 사용할 수 없습니다. ITO 스퍼터링 타겟의 경우, 사용하지 않은 부분은 상당한 양의 인듐을 나타낼 수 있습니다. 따라서 가능한 한 많은 타겟을 회수하거나 재활용하는 것이 좋습니다.
타겟 사용자는 나머지 타겟을 여러 조각으로 나눕니다.
ITO 덩어리는 재활용/회수 센터로 보내지고, 그곳에서 다시 인듐 금속으로 전환됩니다. 그리고 사이클이 다시 시작됩니다.
