삼염화 인듐, 염화 인듐(III) 또는 InCl3는 여러 가지 이름으로 불리며 다양한 용도로 사용되지만, 이 물질의 주요 용도는 CVD(화학 기상 증착)를 위한 인듐 전구체를 만드는 데 있습니다. TMI(트리메틸인듐)는 갈륨 증착용 TMG와 마찬가지로 인듐 증착용 전구체입니다. 두 가지 MOCVD 전구체 모두 여기에서 설명합니다: https://www.indium.com/compounds/led-mocvd-precursors/#application
LED 제조에서 인듐의 흐름은 다음과 같습니다:
In + Cl-> 염화 인듐(III) -> TMI-> LED
하지만 화학 기상 증착은 표면에 인듐 층을 증착하는 한 가지 방법일 뿐입니다. 스퍼터링 및 증착과 같은 물리적 기상 증착이 일반적입니다. 화학적 증착과 물리적 증착 과정을 비교하는 방법은 다음과 같습니다: http://documents.indium.com/qdynamo/download.php?docid=1957