コンテンツへスキップ

LED製造用三塩化インジウム(InCl3)

三塩化インジウム、塩化インジウム(III)、またはInCl3は、多くの名前で呼ばれ、多くの用途があるが、この材料の主な用途は、CVD(化学蒸着)用のインジウム前駆体を作ることである。TMI(トリメチルインジウム)は、ガリウム蒸着用のTMGと同様に、インジウム蒸着用の前駆体である。両MOCVD前駆体については、https://www.indium.com/compounds/led-mocvd-precursors/#application。

そこで、LED製造におけるインジウムの流れを紹介しよう:

In + Cl-> 塩化インジウム(III)-> TMI-> LED

化学蒸着は、表面にインジウム層を蒸着させる方法のひとつに過ぎない。スパッタリングや蒸着などの物理蒸着が一般的です。以下は、化学蒸着プロセスと物理蒸着プロセスの比較についての私の見解である。http://documents.indium.com/qdynamo/download.php?docid=1957