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エレクトロマイグレーション(EM)と電気化学的マイグレーション(ECM)

今週、IPCハンドブック(IPC-CH-65 HDBK)の汚染とプリント配線アセンブリ(PWA)への影響に関するセクションへの寄稿を依頼された。標準的なSMT/PCB分野から半導体アセンブリ、特にフリップチップ、マイクロバンプ、TSVアセンブリへの技術のクロスオーバーは明らかです。しかし、用語は「衝突し始めている」。半導体メーカーに馴染みのあるフレーズを理解し、SMTから参入した半導体パッケージングエンジニアの辞書の一部になる必要が出てきた。このブログは、2009年のIWLPCミーティングで私が発表した論文に基づくものだが、より多くの読者のために繰り返したいと思う。

電気化学的マイグレーション(ECM)

ECMは、隣接する金属導体の間を金属イオンが移動し、樹状突起を形成することを特徴とする。ここで重要な制御パラメータは以下の通りである:

-水分または高湿度(%RHで測定

-移動性金属イオンの存在

-単位長さ当たりのボルト(V/cm)で表される高い電位勾配

高温も問題を悪化させる。水和した金属イオンはプラスに帯電しているため、陰極(-ve)に向かって移動し、針状または枝状の金属構造であるデンドライトを形成する。デンドライトはECMの主な視覚的指標である。
ECMダイアグラム


エレクトロマイグレーション(EM)

一方、EMは金属導体の内部で発生するもので、大量の高速電子が金属原子に衝突し、単純な運動量移動によって原子を移動させる。EMに影響を与える主な要因は以下の通りである:

-高温

-移動可能な金属原子の存在

-単位面積当たりのアンペア数(A/cm2)で表される高い電流密度

EMは金属接合部の内部で発生するため、湿度やその他の環境中の水分はEMに影響を与えないことに注意することが重要である。

EMダイアグラム
EMの主な視覚的指標は、アノード(+側)に近い金属相互接続のポイントにボイドが存在することであり、多くの場合、電流密度が最大となる場所である(「電流クラウディング」効果 - 下記参照)。 現在の混雑状況 3
ボイドは通常、接合部の内側に見られ、時間の経過とともに接合部の有効断面積が縮小し、電流密度が増加するため、最終的には熱暴走や接合部の破損につながる可能性がある。

この説明がわかりやすく、納得のいくものであることを願っている。

乾杯アンディ