製品情報 フラックス ウェハーバンピングフラックス

ウェハー・バンピング・フラックス

インジウム・コーポレーションは、リフローや洗浄時に酸化物やその他の汚染物質を除去するために設計された、トップクラスのウェーハバンピング(バンプ融合)フラックスを開発・提供しています。当社のフラックスは、ディスペンスまたはスピンコーティング技術により、はんだバンプ付きおよび銅柱/はんだキャップ付きウェハーに塗布することができます。

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  • 水洗いまたは溶剤洗浄可能
  • 様々な合金に使用可能
  • 幅広い互換性
緑を背景に、バイナリコード・パターンと交差する金色の線が描かれた大きな円盤を配した抽象的なデジタル・アートワーク。

インジウムコーポレーションは、高品質のウェーハバンピング用フラックスの提供で長年にわたり高い評価を得ています。当社の広範な製品ラインナップは、メッキされたバンプや銅ピラーにフラックスをスピンコートする従来のウェーハバンピングプロセスなど、様々な用途に合わせた材料を取り揃えています。さらに、当社の製品は、ウェーハレベルCSP(WLCSP)やウェーハレベルおよびパネルレベルのファンアウトパッケージで一般的に使用される、ボールドロッププロセスの前にフラックスをウェーハに塗布する印刷アプリケーションに優れています。

当社のウェーハバンピングフラックス製品は、ウェーハプロセスやパッケージングアセンブリーで一般的に使用されるポリマーやパッシベーション材料と互換性があります。

  • 噴射またはディスペンスによる塗布後、スピンコーティングにより膜厚を最適化
  • Reflow in inert atmosphere (typically <20ppm O2 level)
  • 粗い、非球面、メッキ、ウェーハプローブでへこんだはんだバンプを光沢のある酸化物のないバンプに変換します。
  • 実績のあるアプリケーションには、銅柱マイクロバンプや標準的なはんだバンプが含まれます。
  • スクリーンまたはステンシルを用いてウェハまたはパネルに印刷し、その後ボールドロップ工程を行う。
  • ウェーハバンピングフラックスWS-3401は、最先端の2.5Dチップオンウェーハパッケージング技術に使用されています。
  • ウェーハバンピングフラックスSC-5Rは、レガシー製品に10年以上使用されています。

フラックスを用いたウェーハバンピングは、フラックスレスの装置やプロセスに移行したものもあるが、現在も広く用いられている方法である。フラックスは、均一な低酸化膜で、最適な形状の整ったバンプを形成するのに非常に効果的である。

フラックスタイプフラックス塗布方法説明洗浄方法ハロゲンフリー素材
SCディスペンス/スピンコーティング高鉛、SnPb共晶、SnAgはんだバンプ溶剤または水性化学はいSC-5R
WSディスペンス/スピンコーティングSnAgまたはSn100マイクロバンプ付き20~65ミクロンピッチ銅ピラー温かい純水はいWS-3401
WS-3543
フラックスタイプフラックス塗布方法説明洗浄方法ハロゲンフリー素材
WS印刷0.5mm以下のピッチのウェハレベルまたはパネルレベルパッケージ、LEDダイ・アタッチ・アプリケーションにも最適温かい純水はいWS-676
WS-759
WS-829
考察ソルダーペースト
印刷
メッキフラックス/はんだ
ボール印刷
C4-NP
(スース/IBM)
大量生産に使用?はいはいはいはい
合金の制限粉末が製造できる限り、すべてのはんだ合金合金管理の問題から二元合金のみ(Sn/Pb、Sn/Ag、Sn/Cuなどすべてのはんだ合金。おそらく二元合金に限られる
バンプサイズ約125ミクロンのピッチまでペースト体積の45%だけがメタル実現可能なバンプは2ミクロンまで。量産ではバンプ径60ミクロンだが、ウェーハレベルのCSP製造では最も一般的に使用される不明
バンプの均一性OK:ソルダーペーストの使用年数や印刷プロセスの変数によって大きく異なる場合がある。グッド適切なタイト・トレランスのはんだ球との相性が良い。グッド
無効化共通管理されためっきプロセスでは、ほとんどない。ほとんどないほとんどない
コスト比較低価格より高価低価格高い資本コスト
プロトタイピングかなり簡単コンプレックス簡単コンプレックス

製品データシート

WS-3401 ウェーハフラックス PDS 98197 R4.pdf
WS-3401-A ウェーハフラックス PDS 98764 R4.pdf
WS-3518 ウェーハフラックス PDS 98431 R3.pdf
WS-3543 ウェーハフラックス PDS 98398 R3.pdf

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