半導体フラックス
ウェハー・バンピング・フラックス
インジウム・コーポレーションは、リフローや洗浄時に酸化物やその他の汚染物質を除去するために設計された、トップクラスのウェーハバンピング(バンプ融合)フラックスを開発・提供しています。当社のフラックスは、ディスペンスまたはスピンコーティング技術により、はんだバンプ付きおよび銅柱/はんだキャップ付きウェハーに塗布することができます。
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- 水洗いまたは溶剤洗浄可能
- 様々な合金に使用可能
- 幅広い互換性

製品概要
インジウムコーポレーションは、高品質のウェーハバンピング用フラックスの提供で長年にわたり高い評価を得ています。当社の広範な製品ラインナップは、メッキされたバンプや銅ピラーにフラックスをスピンコートする従来のウェーハバンピングプロセスなど、様々な用途に合わせた材料を取り揃えています。さらに、当社の製品は、ウェーハレベルCSP(WLCSP)やウェーハレベルおよびパネルレベルのファンアウトパッケージで一般的に使用される、ボールドロッププロセスの前にフラックスをウェーハに塗布する印刷アプリケーションに優れています。
当社のウェーハバンピングフラックス製品は、ウェーハプロセスやパッケージングアセンブリーで一般的に使用されるポリマーやパッシベーション材料と互換性があります。
- 噴射またはディスペンスによる塗布後、スピンコーティングにより膜厚を最適化
- Reflow in inert atmosphere (typically <20ppm O2 level)
- 粗い、非球面、メッキ、ウェーハプローブでへこんだはんだバンプを光沢のある酸化物のないバンプに変換します。
- 実績のあるアプリケーションには、銅柱マイクロバンプや標準的なはんだバンプが含まれます。
- スクリーンまたはステンシルを用いてウェハまたはパネルに印刷し、その後ボールドロップ工程を行う。
- ウェーハバンピングフラックスWS-3401は、最先端の2.5Dチップオンウェーハパッケージング技術に使用されています。
- ウェーハバンピングフラックスSC-5Rは、レガシー製品に10年以上使用されています。
ウェハーバンピングフラックス製品
フラックスを用いたウェーハバンピングは、フラックスレスの装置やプロセスに移行したものもあるが、現在も広く用いられている方法である。フラックスは、均一な低酸化膜で、最適な形状の整ったバンプを形成するのに非常に効果的である。
| フラックスタイプ | フラックス塗布方法 | 説明 | 洗浄方法 | ハロゲンフリー | 素材 |
|---|---|---|---|---|---|
| SC | ディスペンス/スピンコーティング | 高鉛、SnPb共晶、SnAgはんだバンプ | 溶剤または水性化学 | はい | SC-5R |
| WS | ディスペンス/スピンコーティング | SnAgまたはSn100マイクロバンプ付き20~65ミクロンピッチ銅ピラー | 温かい純水 | はい | WS-3401 WS-3543 |
| フラックスタイプ | フラックス塗布方法 | 説明 | 洗浄方法 | ハロゲンフリー | 素材 |
|---|---|---|---|---|---|
| WS | 印刷 | 0.5mm以下のピッチのウェハレベルまたはパネルレベルパッケージ、LEDダイ・アタッチ・アプリケーションにも最適 | 温かい純水 | はい | WS-676 WS-759 WS-829 |
| 考察 | ソルダーペースト 印刷 | メッキ | フラックス/はんだ ボール印刷 | C4-NP (スース/IBM) |
|---|---|---|---|---|
| 大量生産に使用? | はい | はい | はい | はい |
| 合金の制限 | 粉末が製造できる限り、すべてのはんだ合金 | 合金管理の問題から二元合金のみ(Sn/Pb、Sn/Ag、Sn/Cuなど | すべてのはんだ合金。 | おそらく二元合金に限られる |
| バンプサイズ | 約125ミクロンのピッチまでペースト体積の45%だけがメタル | 実現可能なバンプは2ミクロンまで。 | 量産ではバンプ径60ミクロンだが、ウェーハレベルのCSP製造では最も一般的に使用される | 不明 |
| バンプの均一性 | OK:ソルダーペーストの使用年数や印刷プロセスの変数によって大きく異なる場合がある。 | グッド | 適切なタイト・トレランスのはんだ球との相性が良い。 | グッド |
| 無効化 | 共通 | 管理されためっきプロセスでは、ほとんどない。 | ほとんどない | ほとんどない |
| コスト比較 | 低価格 | より高価 | 低価格 | 高い資本コスト |
| プロトタイピング | かなり簡単 | コンプレックス | 簡単 | コンプレックス |
製品データシート
WS-3401 ウェーハフラックス PDS 98197 R4.pdf
WS-3401-A ウェーハフラックス PDS 98764 R4.pdf
WS-3518 ウェーハフラックス PDS 98431 R3.pdf
WS-3543 ウェーハフラックス PDS 98398 R3.pdf
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