铟泰公司 目前该公司正在生产高纯度锡——详情请见:https://www.indium.com/products/metals/tin/——我很乐意解释一下我们为何投资这项技术:
每一代新硅芯片都需要普罗米修斯--这是一种关键技术,可提供在晶片上打印特征所需的低波长光。这一系列步骤已经使用了几十年,被称为光刻技术:产生大量光子并形成足够明亮的光束,制造光学元件将光束转向特征定义掩膜,将产生的图像投射到涂有光刻胶的晶片上,将图案蚀刻到晶片上,最后剥离剩余的光刻胶,以便在工厂中进行下一道工序--这并不像听起来那么简单。
我们知道半导体行业已经多次成功地做到了这一点,因为我们都听说过摩尔定律。
那么,究竟 如何才能产生 5 纳米和 3 纳米工艺所需的 13.5 纳米亮度的光束呢?直到最近,答案还是:"简单--使用同步加速器"。这些粒子加速器遍布全球。剧透一下:这种加速器只有 60 台,而且只有政府资助的研究机构才有能力建造、配备人员并运行这种加速器。
下一个可能的答案是--"嗯--当然可以使用某种激光器"。问题是,这种波长的激光器也有些昂贵。13.5 纳米波长是一种 "软 "X 射线波长。激光器是有的,但仍不能满足需要。
这就是等离子体:将某种元素电离,就会产生等离子体,这种等离子体会发出与所使用元素有关的特定频率的光。如果你曾透过窗户观察正在运行的溅射室,就会看到氩等离子体发出的紫色光芒(见下图)。

最后,我们回到锡:锡等离子体发出的光具有所需的 13.5 纳米峰值附近的发射光谱。而且,最重要的是,锡等离子体具有很高的转换效率,可以产生所需的高亮度。
另一个好消息是,锡是一种在当今世界应用极其广泛的元素。仅在电子行业,它就被用于绝大多数焊料合金中;在铟泰公司 ,我们从事锡相关工作已有很长时间。
此外,我们还花费了数年时间对锡进行提纯,将其纯度从现有的标准等级(4N,即99.99%)提升至5N,进而达到6N,从而为这款全新的应用 提供了所需的纯度水平。铟泰公司 已准备好为这款令人振奋的新产品应用 提供支持,该产品将在未来许多年里为延续摩尔定律发挥关键作用。


